透射电子显微镜(TEMs)可以检测穿过极薄样品的电子来成像,与其不同的是,扫描电子显微镜是利用反射或撞击扫描样品近表面区域的电子来产生图像。由于电子的波长远小于光的波长,所以扫描电子显微镜的分辨率要高于光学显微镜的分辨率。 扫描电子显微镜的工作原理 在扫描电子显微镜中,电子束以栅网模式扫描样品。首先,电子枪在镜筒...
SEM 工作原理:扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号 可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和 束斑直径...
SEM/EDX基本原理 入射电子与试样作用,产生二次电子,背散射电子，X射线。试样深层产生的二次电子被试样吸收,只有试样在表面产生的二次电子能被检测到。背散射电子和X射线发生在比二次电子深层的地方。二次电子在离试样表面10nm地方产生,背散射电子在离表面300nm的地方产生,X射线在离试样1000nm的地方产生。6精选课件 ...
EDX的原理图:EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。 SEM下拍的结构形貌图如下: FIB:聚焦离子束,可以定位切截面,然后一刀一刀往里面切,直到达到目的 FIB机台示意图: FIB应用: FIB...
SEM/EDX基本原理:二次电子和背散色电子 2.它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适合观察表面形状。备注:并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如，钨灯丝电子枪，当加速电压很低时<0.5KV...
XRD是X射线衍射仪，其原理是高压下，阴极发出的电子形成高能电子束，轰击阳极靶材（通常是C艺洲连吧破...
1)背散射电子的形成: 当入射电子束作用在试样表面以后,经过弹性碰撞和非弹性碰撞后会从试样表面逸出。背散射电子的发射深度约为试样表面以下10nm～1μm,展现样品更深处的结构信息。 背… 卡林仙猫 EDX的基本原理与应用 1 引言元素分析在电镜分析中经常使用,通过在现代分析型电镜内安装X射线能谱、能量过滤器、高角...
2 SEM & EDX
扫描电子显微镜(SEMs)作为功能强大、用途广泛的表征工具，其成像原理基于电子束与样品之间的相互作用。与光学显微镜使用可见光成像不同，电子显微镜通过电子束成像，分辨率远高于光学显微镜，尤其是其波长远小于光波长，使其能够实现更高分辨率的成像。扫描电子显微镜利用电子束扫描样品表面区域，产生图像。电子枪...