SEM 工作原理:扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号 可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和 束斑直径...
当扫描电子显微镜与EDX探测器结合使用时,X射线也可以用作产生化学信息的信号。为了更好地理解X射线的产生原理,我们要清楚,每个原子都拥有特定数量的电子,且电子处于特定的能级。正常情况下,电子在特定的轨道上运行且具有不同的、分立的能量。 EDX分析原理 电子束轰击原子内层,激发出基态原子的内壳电子,在内层留下带...
SEM 工作原理:扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,成像信号 可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和 束斑直径...
SEM是扫描电子显微镜，最高可放大至20万倍左右，用二次电子成像的原理来观察某种物质的微观形貌。EDS是...
SEM/EDX基本原理 入射电子与试样作用,产生二次电子,背散射电子，X射线。试样深层产生的二次电子被试样吸收,只有试样在表面产生的二次电子能被检测到。背散射电子和X射线发生在比二次电子深层的地方。二次电子在离试样表面10nm地方产生,背散射电子在离表面300nm的地方产生,X射线在离试样1000nm的地方产生。6精选课件 ...
扫描电镜中能谱的原理每个原子都有一个独特的电子数,它们在特定位置的正常条件下存在,如图2所示。这些位置属于特定的轨道,它们拥有不同的、离散的能量。 SEM中X射线的生成一共有两个步骤。 在步中,电子束撞击样品并将部分能量转移到样品的原子上。这种能量可以被原子的电子用来“跳跃”到具有更高能量的能量轨道,或...
SEM/EDX基本原理:二次电子和背散色电子 2.它与加速电压存在一定的关系,当加速电压越低时,SE分辨率越高,越适合观察表面形状。所以低电压适合观察表面形状。备注:并不是越低越好,因为当加速电压降低,探头直径变大,当直接大于二次电子深度,信息流失,此时并不适合观察。比如，钨灯丝电子枪，当加速电压很低时<0.5KV...
分析原理:用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大成象谱图的表示方法:背散射象、二次电子象、吸收电流象、元素的线分布和面分布等提供的信息:断口形貌、表面显微结构、薄膜内部的显微结构、微区元素分析与定量元素分析等 SEM工作图入射电子与样品中原子的价电子发生非...
EDX的原理图:EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。 SEM下拍的结构形貌图如下: FIB:聚焦离子束,可以定位切截面,然后一刀一刀往里面切,直到达到目的 FIB机台示意图: FIB应用: FIB...