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此外,SEM也可在观察样品时同时加热或冷却样品(需要特定类型的平台),以及观察湿润的样品(仅适用于环境SEM)。可以分析来自样品的X射线,进行微区元素分析(需要EDS或WDS探测器),也可以研究半导体的光电特性(需要阴极荧光CL探测器),还可以观察晶体材料的晶粒取向或晶体取向图,同时研究平面样品中的异质性和微应变等相关信息...
EDS光谱可以与电子显微镜(EM)图像一起获得,提供了详细的元素背景。下面只是EDS断层扫描用例的几个例子,涵盖了各种尺度、分辨率和应用。 赛默飞世尔科学仪器提供一系列自动化功能,允许您预先确定绘图条件、漂移补偿和探测器参数,以及自动对焦和自动倾斜条件。这种自动化水平使您能够设置EDS层析成像实验,然后让系统无人值守...
由于EDS的分辨率较WDS差,因此在能谱的解析上,较易产生重迭的情形。 46. 由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X光的产生和作用体积的大小有关,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作用体积的大小。 相关应用 扫描电镜是一种多功能的仪器、具有很多优越的性能、是用途最为广泛...
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