致密PZT陶瓷具有极高的介电常数,大大降低了材料的静水压优值,另一方面,致密PZT陶瓷密度很大,声阻抗等于材料的密度与声速的乘积,因此PZT陶瓷的声阻抗远大于水的声阻抗,极大的密度差与声阻抗差使得二者之间的匹配性较差,严重影响了水声换能器的灵敏度。在当今陆地资源日益枯竭,各国竞相争夺深海资源这一制高点,推进水声...
PECVD是一种化学生长方法,通过硅烷(SiₙH₂ₙ+2)气体和氧气在高温和电场环境下发生化学反应,生成SiO2后吸附、沉积、扩散在晶圆表面。PECVD的优点在于可以生长μm级的SiO2薄膜,但其致密度略差,在高压应用中要注意薄膜绝缘性。此外,PECVD的成膜温度普遍在300℃以上,因此压电MEMS中要注意是否超过材料的居里温度。
的声速差异忽略不计;,是样品的长度; 是样品的 整体厚度;,z是弯 曲共振阶数,它和 中的n相对 应,可 以取 1.2,3这三个数值 。 制备了不同尺寸的样品,其倍频输 出信号频率 和样品尺寸 的关系如 图 3 所示。图中样 品的倍频信 号和器件尺寸