ASML 2023年3月曾表示，预计2000i和2050i这两款产品会受到荷兰政府的出口限制。再对比阿斯麦今天的回应来看，TWINSCAN NXT:1980Di这款浸润式DUV光刻机并不在限制范围内。ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍，其中在分辨率方面，写到是大于等于38nm（可以支持到7nm左右），而这是指一次曝光的分辨率，事实...
至于5nm制程，由于DUV光刻机的精度限制，无法通过多重曝光技术实现。目前专业人士普遍认为，使用DUV光刻机最多只能进行4次曝光，最多达到7nm制程。而要实现5nm制程，必须使用EUV光刻机，因为EUV光刻机的精度更高，可以满足更精细的制程工艺要求。
图2、EUV系统吞吐NXE产量不断提高，2020年全球只有1个系统年产量超过50万片晶圆，2021年这一数字增加到15个，2022年增加到51个，见图3。图 3.EUV 系统生产力。NXE:3800E 的目标是在 0.9nm 匹配机器覆盖下 >220 wph，见图 4。图 4. NXE:3800E 目标。第一批 NXE:3800E 预计在第四季度发货，见图 5。...
The dual-stage immersion lithography system is equipped with a new projection-optics adjustment system that improves overlay. . Its new hardware and software innovations enable improved single-machine overlay by up to 10% (0.9 nm) and matched-machine overlay by 13% (1.3nm). The NXT:2100i inco...
最先进的型号为TWINSCAN NXT 2100i的193nm水浸入式光刻机 ASML公司宣称,自2024年1月1日起,ASML公司将基本不会获得向中国客户发运TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统的出口许可证。也就是说,只有型号为TWINSCAN NXT 1980i的193nm水浸没式光刻机才能对中国大陆出货。
某大佬透露 第二代DUVI 套刻精度1.3NM 每小时 310 ,这么牛逼吗 -yuto- 吧主 14 这个就是我昨天看到的消息。 幸运年 麒麟9010 11 先说消息来源 cswdwg 麒麟980 7 哪里看到的消息? MrTx FT-D2000 6 有点像小米的澎湃soc,一直都在口中进化 fzsd745erqe 昇腾920 5 这家伙的消息根本不靠谱,...
ASML 官网上关于这一台 TWINSCAN NXT:1980Di 的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于 38nm(可以支持到 7nm 左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。 理论上,NXT:1980Di 依然可以达到 7nm,只是步骤更为复杂,成本更高,良率可能也会有损失,晶圆厂用这一台光刻机,大多是生产 14nm...
ASML官网上关于这一台TWINSCAN NXT:1980Di的介绍,其中在分辨率方面,写到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而这是指一次曝光的分辨率,事实上光刻机是可以进行多次曝光的。 理论上,NXT:1980Di依然可以达到7nm,只是步骤更为复杂,成本更高,良率可能也会有损失,晶圆厂用这一台光刻机,大多是生产14nm及以上工艺的芯...