mfc气体流量控制器工作原理MFC气体流量控制器工作原理基于热导原理,通过测量流过敏感元件的气体温度变化来确定气体的流量,并据此调节气体流量至设定值。©2022 Baidu |由 百度智能云 提供计算服务 | 使用百度前必读 | 文库协议 | 网站地图 | 百度营销
MFC流量控制器自力式流量控制阀是由自动孔板和手孔板组成的一个有机整体。手动孔板是按设计流量进行调控的锁定机构;自动孔板是保证设计流量恒定不变的控制机构。(按设计流量进行调控)自动孔板前的介质压力为P1,流经手动孔板前后的介质压力分别为P2、P3。手动孔板前后的压差为(P2-P3)。P2、P3经反馈作用在膜片上下方,...