（5）CDbar ：由掩膜厂根据生产设备及检测设备的测试需求，添加不同线宽、不同方向的关键尺寸测试图形。根据检测设备监测图形线宽来判定光刻版是否满足合格标准；（6）图形极性处理：根据设计需要，对数据图形进行图形极性反转，即Clear->Dark 或Dark ->Clear 。常规的处理方式是工程师根据工艺规则和数据排布经验进行...