イオン化した原子は質量分析計(MS)で質量数(質量電荷比:m/z)の違いよって分離・選別された後、検出器に到達したイオン数が信号強度として計測されます。ICP-MSでは、検出したイオンの質量数情報から定性分析が、信号強度から定量分析を行うことが可能です。