質量分解能が低いため、共存成分の質量干渉(多原子イオン、同重体イオンなど)によって正確な測定ができない場合があります。しかし近年では、優れた干渉低減機構を搭載した装置が主流となっているため、多くの場合で干渉イオンの影響を排除した測定が可能となっています。