これらの課題を解決する技術として、当社では化学的溶解法を用いた深さ方向分析を実施しています。薬液と試料の反応速度を制御することで、指定深さの溶解・評価が可能となります。事例1では、Siウエハのアニール炉に使用される合成石英ガラス管の深さ方向分析事例を紹介致します。
3 分析結果 添加測試 為了確保 Accuracy,USP<233> 內規範在樣品內添加 0.5J~1.5J 的標準品,回收率需在 70~150% 以內. 此次在樣品 1 之藥膠布溶液進行 0.5J 之添加測試,在樣品 2 之 藥膠布溶液進行 1J 之添加測試,觀察添加之回收率結果.結果顯 示包括 0.5J 和 1J 的添加,Agilent ICP-MS 均符合 USP ...
ICP-MS/ICP標準品鋁, 銻, 砷, 鋇, 鈹, 鉍, 硼, 鎘, 鈣, 碳, 鈰, 銫, 氯化物, 鉻, 鈷, 銅, 鏑鉺, 銪, 釓, 鎵, 鍺, 金, 鉿, 鈥, 銦, 銥, 鐵, 鑭, 鉛, 鋰, 鎦, 鎂錳, 汞, 鉬, 釹, 鎳, 鈮, 鋨, 鈀, 磷, 磷酸, 鉑, 鉀, 鐠, 錸, 銠, 銣, 釕釤, 鈧, 硒, 矽,...
ICP-MS/ICP標準品鋁, 銻, 砷, 鋇, 鈹, 鉍, 硼, 鎘, 鈣, 碳, 鈰, 銫, 氯化物, 鉻, 鈷, 銅, 鏑鉺, 銪, 釓, 鎵, 鍺, 金, 鉿, 鈥, 銦, 銥, 鐵, 鑭, 鉛, 鋰, 鎦, 鎂錳, 汞, 鉬, 釹, 鎳, 鈮, 鋨, 鈀, 磷, 磷酸, 鉑, 鉀, 鐠, 錸, 銠, 銣, 釕釤, 鈧, 硒, 矽,...
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