干涉测量技术是基于光的干涉原理的一种新型测量方法,它以光的波长为计量单位,因此精度高、分辨率高、稳定性好,在光学加工检测领域有着广泛的应用。随着激光技术的出现... 毛石磊 - 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所) 被引量: 0发表: 2016年 拼接式反射镜共相位干涉检测技术研究 提出一种新方法...