FST-chiller冰水机制冷剂充注 维修服务 半导体专用温控装置(Semiconductor Chiller)主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置,主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理,高精度控制半导体工艺设备所用...
韩媒Theelec引述业界消息,指FST正推行一项计划,透过在美国设立公司与基地,扩大在美国业务范围。FST是韩国专门生产半导体、显示器制程冷却机组(chiller)及光罩护膜(pellicle)的公司,主要客户包括三星电子、SK 海力士(SK Hynix)和乐金显示器(LG Display;LGD)等。 长期以来,FST仅在三星、SK海力士的海外制造工厂所在地,也...
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Accuracy:±0.5%FS ±0.3%FS;Output signal:I2C Digital Output;Pressure type:Gauge Pressure Absolute Pressure Sealed Pressure;Pressure Range:0-0.1 10 bar 16bar 20bar to 70 bar;Supply voltage:3~5VDC;Power consumption current:2.7mA;Material:Stainless Steel;
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