横河PLCFA-M3在扩散炉上的应用。扩散炉工作区间内(800到1000mm)一般需要±01℃(个别要求±0.5℃)。多数情况下只使用外温控制,内温只在数据测试(Profiling)和2-3周一次的矫正时使用。不同晶片及数量的要求内温相对外温设定值由profiling给出。使用内温时,使用串级控制,内温输出作为外温设定值使用。为防止电流过大,...
横河PLC-FA-M3概述
FA-M3可编程控制器 日本横河FA-M3可编程控制器: 本种fa-m3是新一代可编程控制器控制器,可以实现超高速处理和控制稳定的特点。它集成了一个节省空间的紧凑设计,支持灵活的范围覆盖了8192输入/输出点,并配有各种先进的模块,它可以用来配置应用广泛,F3SP35、F3SP38、F3SP58、F3SP59、F3SP67。General The Range-...
38外形尺寸٠FA-M3符合的标准...39通用技术规格FA-M3可扩展多控制器系统GS34M6A01-01C<<目录>><<索引>>2版权所有©2006,横河电机株式会社保留所有权利。GS34M6A01-01C2006年1月31日 概要FA-M3可扩展多控制器是新一代的可编程控制器,通过其超高速处理能力和稳定的控制特性提供极高的操作性能。其体积精巧...
横河FA-M3系列PLC产品特点: ◆ 平均扫描时间达20,000步/ms,基本指令Z快0.017μs,支持主程序和高速定时程序并行处理,实现真正高速化。 ◆ 全面丰富的产品线,单系统Z大I/O容量8192点,支持多CPU技术,系统可任意扩展。 ◆ 基于的DCS技术基础,高度集成化设计,使其在精巧结构下,具备非同一般的高可靠性。
YOKOGAWA横河FA-M3 Simulation Software Virtual-M3 Read Me First Installing and Setup使用说明书 星级: 14 页 横河FA-M3系列大型PLC是日本最大的工业控制集团横河电机公司基于 星级: 25 页 YOKOGAWA横河FA-M3 Programming Tool WideField3 Read Me First Installing and Starting WideField3使用说明书 星级...
YOKOGAWA横河FA-M3 Programming Tool WideField3 Read Me First Installing and Starting WideField3使用说明书.pdf,User’s Manual FA-M3 Programming Tool WideField3 Read Me First Installing and Starting WideField3 IM 34M06Q16-11E Please check the contents of th
.横河FA-M3系列大型PLC是日本最大的工业控制集团横河电机公司基于世界领先的横河DCS技术基础于1992年推出的高性能PLC,快速、小巧、智能是FA-M3的显著特点,秉承着横河公司“质量第一〞的原则,FA-M3系列PLC正是横河成熟控制技术的集中体现,它的每一步发展都引领着PLC业界的潮流。横河FA-M3系列PLC产品特点平均扫描时间...
横河PLC FA-M3在扩散炉上的应用。扩散炉工作区间内(800到1000mm)一般需要±01℃(个别要求±0.5℃)。扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便建立起不同的电特性区域。虽然某些工艺可...
处于电子部品生产线的最末端贴片机要求把成百上千个电阻,电容,LED,芯片等成品在一分钟内按设计要求实行电气和外观检测,去除次品然后将正品插入圆盘封装带。FA-M3以其高速性和网络多样性成为多家顶尖贴片机生产商的首选,为客户实现业界最高性能的装置提供了保证。FA-M3