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电子货架 E-Rack 适用场景:用于存放Reticle并将信息上传 设备特点: 1、LED Display,显示操作成功与否,及每个Reticle的详细信息; 2、RFID Reader,判断存储位是否被占用并读取Reticle信息; 3、XCDA Purge,每个存放Reticle位置上部都配有XCDA Purge吹扫口,每个Reticle位置气体流量30NL/min(0.3MPa时),每层通过流量开关实...
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3.3投标人或投标货物的制造商具有国内半导体晶圆制造企业关于无尘室电子货架的安装实施经验以及有同类型货物成功销售记录10套以上(须提供业绩证明文件)。 3.4 本次招标不接受联合体投标。 4. 招标文件的获取 4.1 凡有意参加投标人,请在以下时间内购买招标文件: 4.1.1招标文件发售时间: 2022 年 8 月 25 日到2022...
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