它的工作原理可以分为以下几步: 第一步:用户输入信息 Echuck聊天机器人通过与用户的交互来获取信息。用户可以用自然语言或指定的关键词来进行对话,提出问题或请求。机器人通过自然语言处理技术(NLP)将用户输入的信息转换为机器可读的形式。 第二步:信息分类 在这一步骤中,Echuck聊天机器人会对用户的输入信息进行...
静电吸盘,又称静电卡盘(ESC, E—Chuck),是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具,适用于真空和等离子体环境,主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,并能够调节吸附物的温度。 机械夹持:在早期的硅片加工中,习惯于采用传统机械行业中机械夹持方法,...
echuck静电吸盘的工作原理是基于静电力的吸附效应。当电极施加电压时,电极与环境中的空气形成电场,产生一个静电场。静电场会使附近物体表面带上相应的电荷,从而产生静电力。 四、静电力的作用机制 静电力是由电荷间的相互作用引起的,其作用机制可以分为库仑力和范德华力两种。 1. 库仑力:库仑力是由电荷间的静电...
静电卡盘,简称ESC,E-chuck(Electrostatic Chuck),在半导体设备中价值比较高的部件之一,以刻蚀设备为例,在晶圆加工过程中主要起到为晶圆背面提供支撑,以静电吸附的方式保证其固定,为晶圆提供动态恒定的温度。 引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有绝缘层的ESC的主体部分为电容一侧电极,...
静电吸盘又称静电卡盘(英文简称:ESC或E-Chuck)是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具,适用于真空及等离子体环境,主要作用是吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,还能够调节吸附物的温度 静电吸盘的构造和原理 ...
一、静电原理 静电是指当物体表面带有正负电荷不平衡时产生的现象。正电荷和负电荷之间会相互吸引,而同种电荷之间会相互排斥。静电力是由电荷间的排斥力和吸引力共同作用产生的。 二、echuck静电吸盘的组成 echuck静电吸盘主要由基座、电极、介质层和工作表面组成。 1. 基座:通常由金属材料制成,具有良好的导电性能...
你看,空气原本在chuck周围是自由自在地晃悠的,突然就被这些小通道给拉走了,就像小朋友被大人拉着手带走一样。 从更科学的角度来说呢,这背后可是有气压差的原理在捣鬼。咱们生活的环境里,到处都是空气,这些空气是有压力的。当chuck开始工作的时候,它内部的气压被人为地降低了。这一降低可不得了,外面的气压就像...