高解析度FEB测量装置CS4800(CD-SEM) 打印 适用于对应4、6、8英寸晶圆的测量SEM 搭载日立技术的CD-SEM CS4800兼容4、6、8英寸晶圆的CD测量,提供高解析度的SEM成像,更高的测量精度和快速自动化操作,将有助于提高客户现有生产线的生产力。此外用户可以通过简单的操作处理自动搬送两种不同尺寸的晶圆。 日立计划...
CD-SEM装置的校正方法、应用CD-SEM装置的方法及CD-SEM装置专利信息由爱企查专利频道提供,CD-SEM装置的校正方法、应用CD-SEM装置的方法及CD-SEM装置说明:本申请公开了一种CD‑SEM装置的校正方法、应用CD‑SEM装置的方法及CD‑SEM装置。其中...专利查询请上爱企查
其中校正方法包括:步骤S1、获取SEM图形并采用设置在CD-SEM装置内部的图形特征尺寸检测单元对SEM图形进行在线检测,以获取SEM图形的第一特征尺寸T1;步骤S2、将SEM图形输出,并采用设置在CD-SEM装置外部的图形特征尺寸检测装置对SEM图形进行脱线检测,以获取SEM图形的第二特征尺寸T2;步骤S3、计算第一特征尺寸T1和第二特征...
本申请公开了一种晶圆的CDSEM测量方法、装置及半导体器件,方法包括:步骤S1在当前晶圆上从所有位置点中进行位置点采样,利用CDSEM测量采样位置点的CD值,将采样位置点添加到抽样序列中;步骤S2在下一张晶圆上从除抽样序列中记录的位置点之外的其他位置点中进行位置点采样,并利用CDSEM测量采样位置点的CD值,将采样位置点...
所述CD-SEM装置为了估计由因电子射线照射而进行收缩的物质形成的图案收缩前的形状,还具有收缩数据库, 所述收缩数据库包含:由所述物质形成的图案的电子射线照射前截面形状数据;各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群;各种电子射线照射条件下得到的CD-SEM图像数据群;和使用这些数据而创建的收缩模型以及CD-SEM图像特...
一种基于CDSEM的特征识别方法及装置专利信息由爱企查专利频道提供,一种基于CDSEM的特征识别方法及装置说明:本发明提供一种基于CDSEM的特征识别方法及装置,所述方法包括:通过CDSEM获取训练衬底的C...专利查询请上爱企查
本申请公开了一种CD-SEM装置的校正方法,应用CD-SEM装置的方法及CD-SEM装置.其中校正方法包括:步骤S1,获取SEM图形并采用设置在CD-SEM装置内部的图形特征尺寸检测单元对SEM图形进行在线检测,以获取SEM图形的第一特征尺寸T1;步骤S2,将SEM图形输出,并采用设置在CD-SEM装置外部的图形特征尺寸检测装置对SEM图形进行脱线检测...
其中校正方法包括:步骤S1、获取SEM图形并采用设置在CD‑SEM装置内部的图形特征尺寸检测单元对SEM图形进行在线检测,以获取SEM图形的第一特征尺寸T1;步骤S2、将SEM图形输出,并采用设置在CD‑SEM装置外部的图形特征尺寸检测装置对SEM图形进行脱线检测,以获取SEM图形的第二特征尺寸T2;步骤S3、计算第一特征尺寸T1和第二...
在用CD-SEM对于因电子射线照射而收缩的抗蚀剂进行测长时,为了高精度地估计收缩前的形状、尺寸,预先对于各种图案,准备包含电子射线照射前截面形状数据、各种电子射线照射条件下得到的截面形状数据群以及CD-SEM图像数据群、和基于它们的模型的收缩数据库,取得被测定抗蚀
一种图像处理的方法及其装置[发明专利] 优质文献 相似文献一种基于图像的离线的光刻工艺稳定性控制方法 一种基于图像的离线的光刻工艺稳定性控制方法,其包括训练集和验证集的生成步骤,在进行模型训练之前将空间像和CDSEM图像对齐步骤,遍历N组空间像CDSEM图像数据对完成神... 许博闻,时雪龙,燕燕,... 被引量: 0发...