CDSEM的原理是利用电子束与物质相互作用的特性,通过对样品表面扫描,探测出电子束与样品反射、散射的电子,再通过电子探测器测量电子信号,进而计算出样品表面的形貌、尺寸以及其他物理量。 CDSEM具有高分辨率、高精度、非接触式测量等优点。它可以检测出微纳米级别的尺寸变化,对于半导体、光刻等工艺中的尺寸控制至关重要。
在CD-SEM中,低能量的电子束在样品表面进行精确的扫描,与样品表面的原子相互作用。当电子束与样品相互作用时,样品会发射出二次电子和反射电子。这些电子被检测器收集,并转化为轮廓变化的信号。通过收集的电子信号,形成样品表面形貌的二维图像。基于形成的图像,通过计算测量区域...
测量原理:1. CD-SEM使用SEM图像的灰度（对比度）信号。2.首先，光标（位置指示器）指定SEM图像上的测量位置。3.然后获得指定测量位置的线轮廓。线轮廓基本上是一个信号，指示所测特征的地形轮廓变化。线轮廓用于获取指定位置的尺寸。CD-SEM通过计算测量区域中的像素数自动计算尺寸。也就是说，图4-1中的图像给...
在平衡态下,材料的结构演化遵循热力学平衡原理;而在非平衡态下,材料的结构演化受到外界条件的强烈影响,如温度、压力等。 8.参数优化与反馈控制:通过模拟不同工艺参数下的材料结构演化,可以分析不同工艺参数对材料性质的影响。通过优化工艺参数,可以达到最佳的生产效果。同时,cdsem还可以根据实时检测结果对工艺参数进行...
EPE(Edge Placement Error)量测基本原理 如下图所示,保真度的分析包含对图形的尺寸和形状进行分析,即两者均接近设计图形时,图形保真度好。在DBM中,由CDSEM获取SEM图像的边缘(Edge)每一个像素点与对应设计图形之间存在一一对应的矢量关系。这些矢量是用来表示EPE的基本信息,称之为EPE矢量。利用EPE矢量测量可以定量地分析...
cd-sem工作原理? 扫描电子显微镜是1965年发明的较现代的细胞生物学研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形
(1)CDSEM SEM扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope),业界主要用来量测特征尺寸(Critical Dimension)以及表面形貌成像。其原理是通过入射电子轰击待测样品表面,样品表面原子吸收入射电子并激发产生二次电子(Secondary Electron),通过收集到的二次电子,将探测到的物理信号最终转化成样品图像信息。相较于入射电子,二次...
通常的CD-SEM测量是测试结构上所谓的CD线条的,如下图c)所示。测试结构的CD值通常与真正器件的CD值十分接近。当特征尺寸不断缩小时,对于制造设计(DFM)方面有更多的要求,所以CD-SEM广泛应用于计量设计工具方面,这种应用直接测量特殊器件的CD值。散射检测仪测量速度更快,可重复性高,而且对光刻胶的损伤少。另一方面,...
CD的检测手段包括光学测量仪、电子显微镜SEM、原子力显微镜。后两种方法对样品有破坏性，并且无法在短时间...