旋涂光刻胶的厚度和转速以及光刻胶本身的粘滞度的关系如图2.36所示,这个关系除了跟光刻胶(PR)温度、湿度以及抽气压力有关,要想获得好的均匀涂敷的光刻胶,就需要高的转速。 图2.36涂胶厚度和转速,以及光刻胶的viscosity的关系 同时旋涂光刻胶的厚度跟环境湿度、温度、吸盘抽气速率等都有关系。如下图2.37,图2.38...
3.晶圆旋转:在喷淋光刻胶的同时,晶圆会进行高速旋转,使光刻胶在晶圆表面铺开并均匀分布。 4.溶剂去边和晶圆背部清洗:在光刻胶涂覆完成后,使用溶剂去除晶圆边缘多余的光刻胶,并对晶圆背部进行清洗,以确保光刻胶只覆盖在需要的区域。 在整个涂胶过程中,需要注意控制晶圆旋转的速度、光刻胶的喷淋量以及溶剂的使用...
转速分辨率 1rpm 处理基片尺寸 10-300mm 腔体材质 NPP聚丙烯 试剂种类 可选配至5种 标准配置 带有样品清洗,氮气吹扫 可售卖地 全国 型号 EDC-650Hz-15NPPB 一、湿法腐蚀机用途和特点: 1、 用途:主要用微细加工、半导体、微电子、光电子和纳米技术工艺中在硅片、陶瓷片上显影,湿法腐蚀,清洗,冲洗,甩干...
金属接触是通过标准的电子束光刻定义,并随后热蒸发了铬和金(分别具有3纳米和15纳米的厚度)。由于黑磷在微量水和氧气存在下容易降解,本研究在填充氩气的手套箱中进行了所有制作步骤(除了电子束光刻,样品在其中由光刻胶保护)。当施加的栅极电压 Vg在正空穴侧打开器件时,栅极依赖...
5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%; 6、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度; 7、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%; 8、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态; 9、分辨率:分辨率不超过1转/分,可重复性不超过1转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过...
主营商品:毛细管、恒压泵、匀胶机、覆膜仪、清洗机、芯片切割、键合设备、热压键合机、精密注射泵、单通道注射泵、光刻胶显影液、实验室旋涂仪、横款小型夹具、切割打孔设备、软质微流控芯片、微流控芯片导管、双向微量注射泵、圆孔简易打孔器 进入店铺 全部商品 10:50 f** 联系了该商品的商家 10:50 l**...