MEMS 陀螺主要有线振动型陀螺和谐振环型陀螺，前者工艺 简单，利于大批量、低成本生产；后者具有更高的理论精度但结构及原理更为复 杂。 MEMS 陀螺仪的工作模态分为驱动模态与检测模态，两种模态的工作状态、 稳定控制及后续信号处理都需要通过外围电路来实现，静电驱动是目前大部分 MEMS 陀螺仪采用的驱动方法，静电...
MEMS 陀螺主要有线振动型陀螺和谐振环型陀螺,前者工艺 简单,利于大批量、低成本生产;后者具有更高的理论精度但结构及原理更为复 杂。 MEMS 陀螺仪的工作模态分为驱动模态与检测模态,两种模态的工作状态、 稳定控制及后续信号处理都需要通过外围电路来实现,静电驱动是目前大部分 MEMS 陀螺仪采用的驱动方法,静电驱动的...
MEMS 陀螺主要有线振动型陀螺和谐振环型陀螺,前者工艺 简单,利于大批量、低成本生产;后者具有更高的理论精度但结构及原理更为复 杂。 MEMS 陀螺仪的工作模态分为驱动模态与检测模态,两种模态的工作状态、 稳定控制及后续信号处理都需要通过外围电路来实现,静电驱动是目前大部分 MEMS 陀螺仪采用的驱动方法,静电驱动的...