高分子电容式湿敏传感器的结构。它是在绝缘衬底上,蒸镀一层厚度约1 μm的叉指形金(Au)电极,在其表面上均匀涂覆(或浸渍)一层的感湿膜,在感湿膜的表面上再蒸镀一层多孔性金薄膜,构成一个对湿度敏感的平板形电容器。 当被测环境中的水分子沿着多孔的透明金薄膜构成的电极很顺利的进入感湿膜而被吸附时,湿敏...