蚀刻线宽补偿与蚀刻因子、铜厚及线间距关系研究PaperCode:S-022彭镜辉何平韩龙(东莞生益电子有限公司,广东东莞523039)摘要文章从蚀刻因子,铜厚以及线间距入手,研究了线宽补偿和这三个因素的关系,并使用公式表述,从而可指导酸性蚀刻减成法线宽补偿的工程设计,并为后续研究103µm(3oz/ft²)以上厚铜板的补偿提供了...