铂薄膜,磁控溅射,退火,电阻率,电阻温度系数(TCR)铂(Pt)是温度传感器常见的敏感材料.为了改善退火工艺提高Pt薄膜的电学特性,采用射频磁控溅射法在蓝宝石衬底上制备了以钽(Ta)为粘附层的Pt敏感薄膜,研究了不同退火温度,退火气氛和退火时间下的Pt薄膜结构以及电学性能方面的差异.结果表明:退火增强了薄膜的结晶化且使...