两种不同电子束能量的SEM图像会显示不同的PVC。根据要解决的问题,可以选择FIB PVC或SEM PVC。在表4中,两种方法的优缺点相互衬度。 表4 FIB和SEM中 PVC的优缺点 SEM中PVC的一个重要应用是在线电子束检测技术。在线SEM中,样品台上的减速场提供了VC定位所需的电子束的低着陆能量。电子在离开电子枪后的初始能量不...
a介绍了ZAO及ZAO薄膜的结构特性;采用溶胶–凝胶法在普通玻璃衬底上制备了ZAO(ZnO:Al)薄膜,利用XRD、SEM、紫外–可见光谱和光致发光光谱对所制备的AZO薄膜进行了表征,研究了ZAO薄膜的结构和光学性能;采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜,研究了不同工艺参数对薄膜晶体结...
两种不同电子束能量的SEM图像会显示不同的PVC。根据要解决的问题,可以选择FIB PVC或SEM PVC。在表4中,两种方法的优缺点相互衬度。 表4 FIB和SEM中 PVC的优缺点 SEM中PVC的一个重要应用是在线电子束检测技术。在线SEM中,样品台上的减速场提供了VC定位所需的电子束的低着陆能量。电子在离开电子枪后的初始能量不...
两种不同电子束能量的SEM图像会显示不同的PVC。根据要解决的问题,可以选择FIB PVC或SEM PVC。在表4中,两种方法的优缺点相互衬度。 表4 FIB和SEM中 PVC的优缺点 SEM中PVC的一个重要应用是在线电子束检测技术。在线SEM中,样品台上的减速场提供了VC定位所需的电子束的低着陆能量。电子在离开电子枪后的初始能量不...
5.当对线路进行FIB切割时,应始终使用氟化物GIS,因为它可以防止导电材料在表面上的再沉积,从而降低泄漏电流。 6.典型电子束电流为10-50 pA。对于低放大率,可以使用高达100 pA的电流,对于特殊问题,在高放大率下1-10 pA可能是最好的。 3 SEM中的PVC(对比FIB中的PVC) ...
两种不同电子束能量的SEM图像会显示不同的PVC。根据要解决的问题,可以选择FIB PVC或SEM PVC。在表4中,两种方法的优缺点相互衬度。 表4 FIB和SEM中 PVC的优缺点 SEM中PVC的一个重要应用是在线电子束检测技术。在线SEM中,样品台上的减速场提供了VC定位所需...