采用菲涅耳衍射公式 推 了半 体激光从输入面到输 面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统 并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响 结果表明:当衍射微透镜的口径D= .27mm、相位台阶数L=16时 可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑 关键词:光束匀化;衍射光学;半...