内容提示: 3. 微米/纳米加工技术中国微米纳米技术学会第十一届学术年会聚酰亚胺牺牲层工艺的微机械加工技术研究潘程, 于晓梅‘, 马盛林( 北京大学微电子学研究院, 微米纳米加工技术国家级重点实验室, 北京100871)摘要: 牺牲层工艺是通过腐蚀或刻蚀牺牲层来制造悬空的梁、 膜或空腔结构的技术, 广泛应用于M EMS 器件...