光栅条纹纳米光莫尔对准复振幅 文章编号:100328213(2008)0320013205纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析周绍林1,2,唐小萍1,胡松1,马平1,陈旺富1,2,严伟1(11中国科学院光电技术研究所,成都610209;21中国科学院研究生院,北京100039)摘要:为了给实际的纳米光刻对准工作提供理论研究基础,主要分析推导了莫尔条纹复振幅以及光强的...
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