最早的RTP工艺,就是为了离子注入后退火而开发的。RTP设备与传统高温炉管的区别加热元件:RTP采用加热灯管,传统炉管采用电阻丝硅片 温度控制:传统炉管利用热对流及热传导原理,使硅片与整个炉管周围环境达到热平衡,温度控制精确; 反馈 收藏
【论述题】简述RTP设备的工作原理,相对于传统高温炉管它有什么优势? 答案:RTP工艺是一类单片热处理工艺,其目的是通过缩短热处理时间和温度或只缩短热处理时间来获得最小的工艺热预算(Thermal... 点击查看完整答案手机看题 你可能感兴趣的试题 问答题 【论述题】 简述硼和磷的退火特性。 答案:硼退火特性电激活比例...
问答题 简述RTP设备的工作原理,相对于传统高温炉管它有什么优势?本题答案:微信扫下方二维码即可打包下载完整带答案解析版《___》或《___》题库
常用溅射技术有哪几种,简述它们的工作原理和特点。 点击查看答案 第3题 对RTP来说,很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产 生的原因。如果温度上升速度加快后,滑移现象变得更为严重,这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的? 点击查看答案 第4题 简述在热氧化过程中杂...
在开放中增强发展新动能、增添改革新动力、增创竞争新优势,推进新一轮高水平对外开放着力实现合作共赢。据此,下列传导路径正确的有()①实施创新驱动发展战略一一形成出口竞争新优势一一开放型经济水平提高②扩大跨境电商分试点一一企业增加出口产品“海外仓”建没一促进经济全球化③推进自贸区谈判一促进贸易投资自...
RTP设备与传统高温炉管的区别加热元件:RTP采用加热灯管,传统炉管采用电阻丝硅片 温度控制:传统炉管利用热对流及热传导原理,使硅片与整个炉管周围环境达到热平衡,温度控制精确;而RTP设备通过热辐射选择性加热硅片,较难控制硅片的实际温度及其均匀性。 升降温速度:RTP设备的升、降温速度为10-200℃/秒,而传统炉管...
传统的高温炉管工艺,由于升、降温缓慢和热处理时间长,从而造成热处理过程中杂质的再分布问题严重,难以控制PN结结深。最早的RTP工艺,就是为了离子注入后退火而开发的。RTP设备与传统高温炉管的区别加热元件:RTP采用加热灯管,传统炉管采用电阻丝硅片反馈 收藏 ...
(2)RTP设备与传统高温炉管的优势(标红的为优势,未标红的只是区别): a.传统炉管的致命缺点是热预算大,无法适应深亚微米工艺的需要;而RTP 设备能大幅降低热预算。 b.升降温速度:RTP设备的升、降温速度为10-200 ℃/秒,而传统炉管的升、降温速度为5-50 ℃/分钟。 c.传统炉管是热壁工艺,容易淀积杂...
简述RTP设备的工作原理,相对于传统高温炉管它有什么优势? 正确答案 RTP工艺是一类单片热处理工艺,其目的是通过缩短热处理时间和温度或只缩短热处理时间来获得最小的工艺热预算(ThermalBudget)。RTP工艺的发展,是为了适应等比例缩小器件结构对杂质再分布的严格要求;最早的RTP工艺主要用于注入后的退火。目前,RTP工艺的...