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简述热氧化层厚度与时间的变化关系影响氧化速率的因素有哪些
简述热氧化层厚度与时间的变化关系影响氧化速率的因素有哪些
2025-02-27 20:00:13
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简述热氧化层厚度与时间的变化关系影响氧化速率的因素有哪些
1.通过不同温度下氧化层厚度与氧化时间的关系曲线 分析氧化物生长速率的变化趋势及其影响因素
为什么相同温度、相同时间下生长的干氧氧化层厚度小于湿氧氧化层的厚度
1. 不同氧化方式的氧化速率及氧化层质量有何差异
在温度相同的情况下 制备相同厚度的氧化层 分别用干氧 湿氧和水汽氧化 哪个需要的时间最长
3. 描述场氧化层及其厚度范围
由热氧化机理解释干、湿氧氧化速率相差很大这一现象的原因
硅的热氧化工艺中 氧化速率随时间、温度及氧化剂分压的变化规律分别是什么
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