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正硅酸乙酯(TEOS)又名四乙氧基硅烷,化学式为 Si(OC2H5)4。电子级正硅酸乙酯(TEOS),属于微电子高端化学品,是第三代半导体材料和新兴半导体。 电子级 TEOS 广泛应用于化学气相沉积工艺形成二氧化硅淀积膜,以此阻挡污染物和杂质进入半导体元件,同时可以产生导电层或绝缘层、产生减反射膜提高吸光率、临时阻挡刻蚀等,是...
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四乙氧基硅烷(正硅酸乙酯)化学公式符号 四乙氧基硅烷(正硅酸乙酯)的化学式为Si(OC₂H₅)₄,其中Si代表硅,O代表氧,C代表碳,H代表氢,和辅助符号E表示乙酰基(C₂H₅O)。其中,四个乙氧基基团置换了硅原子周围四个位置的氢原子,形成了硅烷化合物。四乙氧基硅烷是一种常见的有机硅化合物,常用于制备...
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硅酸乙酯通过四氯化硅与乙醇反应制得，反应可以连续，也可以间歇，化学反应式如下：SiCl₄ + 4C₂H₅OH → (C₂H₅O)₄Si + 4HCl 毒性类别 1. 类别：易燃液体。2. 毒性分级：中毒 3. 急性毒性：口服-大鼠LD：6270毫克/公斤。4. 刺激数据：皮肤-兔子500毫克/24小时中度；眼睛-兔子500毫克/24...