此外,真空镀膜的环境友好性使其在当前对环保和可持续发展的要求下更具优势。 真空镀膜设备主要由真空室、真空泵系统、蒸发源或溅射源、基材支架和旋转机构、电源和控制系统、气体供应系统、冷却系统、监测和检测系统等组成。这些组件的有效配合使得真空镀膜设备能够精确控制薄膜的厚度、成分和结构...
离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离子体中进行,其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。离子镀大大提高了膜层粒子能量,可以获得更优异性能的膜层,...
1. 真空镀膜技术的概述 真空镀膜技术是一种先进的表面工程技术,它利用真空条件下的特殊过程,在各类基材表面镀上薄膜,以赋予材料新的物理、化学或机械特性。这种技术广泛应用于电子、汽车、航天等行业,为产品提供防腐蚀、耐磨损、增强硬度等功能。2. 真空镀膜技术基础 定义及原理: 真空镀膜技术,是指在高度真空的...
真空镀膜技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。这里主要讲一下由溅射镀膜技术发展来的磁控溅射镀膜的原理及相应工艺的研究。 溅射现象于1870年开始用于镀膜技术,1930年以后由于提高了沉积速率而逐渐用于工业生产。常用二极溅射设备如下图。 通常将欲…...
(1)医疗器械涂层:真空镀膜技术可以制备医疗器械表面的生物相容性涂层,提高医疗器械在生物体内的适应性。 (2)增强生物器械的耐磨性和硬度:通过镀膜技术将硬质薄膜沉积在器械表面,可以提高其耐磨性和硬度,延长使用寿命。 (3)生物传感器制备:真空镀膜技术可以制备生物传感器表...
一、真空蒸发镀膜 真空蒸发(Vacuum Evaporation) 镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质,使之升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜,或加热蒸发镀膜材料的真空镀膜方法。 优点:设备简单、操作容易;薄膜纯度高、厚度可较准确控制;成膜速率快,效率高。
上海新柯隆真空设备制造有限公司,作为日本株式会社SHINCRON的全资子公司,承袭了母公司六十余年的技术积淀与品牌影响力。SHINCRON,自1951年成立以来,已将“SHINCRON”品牌打造为世界真空镀膜领域的佼佼者。为进一步拓展全球业务并提供有力支持,公司在包括中国、美国、泰国、马来西亚以及台湾在内的多个地区设立了子公司。产...
真空镀膜是一种在低压环境下利用物理或化学方法将材料沉积到基底表面形成薄膜的工艺。通过这种技术,可以实现高纯度、高精度的薄膜沉积,使其具有特定的光学、电学、机械等性能。因此,真空镀膜在现代工业中具有重要的应用价值。例如,在半导体制造中,真空镀膜用于制作晶圆上的各种功能层;在光学领域,通过镀膜可以实现抗...
PVD真空镀膜的分类与技术 蒸发镀膜 蒸发镀膜是通过将材料加热至蒸发温度,使其在真空环境中蒸发,并在基材表面沉积形成薄膜。主要有两种方法:电阻加热蒸发 电阻加热蒸发是通过电流通过电阻加热器,使加热器温度升高,从而加热源材料使其蒸发。该方法简单且成本低,适用于蒸发低熔点金属,如铝和金。然而,对于高熔点材料...