本发明提供一种通过防止在容器内飞舞的粉尘附着到被覆物一侧的面上,从而可以在被覆物一侧的面上形成高品质的有机被膜的真空蒸镀聚合装置及采用该装置的有机被膜的形成方法。本发明的真空蒸镀聚合装置配有:可向外部排出内部空气形成真空状态的容器B,可使单体气化的气体发生器14a、14b,将由该气体发生器14a、14b气...
真空部件的内部通路,通过与真空排气管线连接,与该真空排气 管线一起构成单体蒸气输送管线的一部分。单体蒸气在该输送过程中, 与真空部件的内部通路全面接触、附着。由此,在该内部通路上形成均匀的树脂被膜。因此,按照本发明,仅通过将真空部件的内部通路暴露于单体蒸 气,在内部通路上可以以均匀而且高的被覆性形成树脂...