电子级硅材料一般要求Si含量达到“11个9”的纯度，即Si≥99.999999999%，而其中的杂质含量更是得以0.1ppb的数量级计，因此，这对电子级硅材料中的基体金属杂质含量的检测方法提出了极高的要求，今天程诚小编就带大家一起学习一下使用ICP-MS法进行上述检测的标准方法吧。本方法适用于基体金属杂质小于5ng/g范围内铁...
电子级硅材料一般要求Si含量达到“11个9”的纯度,即Si≥99.999999999%,而其中的杂质含量更是得以0.1ppb的数量级计,因此,这对电子级硅材料中的基体金属杂质含量的检测方法提出了极高的要求,今天程诚小编就带大家一起学习一下使用ICP-MS法进行上述检测的标准方法吧。 本方法适用于基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬...
电子级硅材料一般要求Si含量达到“11个9”的纯度,即Si≥99.999999999%,而其中的杂质含量更是得以0.1ppb的数量级计,因此,这对电子级硅材料中的基体金属杂质含量的检测方法提出了极高的要求,今天程诚小编就带大家一起学习一下使用ICP-MS法进行上述检测的标准方法吧。 本方法适用于基体金属杂质小于5ng/g范围内铁、铬...