激光干涉仪检测球面光学零件面形精度分析.doc,激光干涉仪检测球面光学零件面形精度分析 摘要:文章通过使用激光球面干涉仪对不同光学零件面形的测量从而作出其精度测量的分析,探讨了实验中产生问题的原因,并对实验数据加以讨论,以找出误差产生的规律。 关键词:激光球面干涉仪
QSI-75TQ型激光球面干涉仪用以检测光学元件的面形、光学镜头的曲率半径以等的一种精密仪器,其测量精度较高。该干涉仪可以检测平面和球面光学零件,前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成,后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成。激光光束在标准平面或标准球面上,部分反射为参考光束;部分透射并通过被测件...