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GB-T 25915.15-2022 洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性上传人:馒*** IP属地:河北 上传时间:2023-05-10 格式:DOCX 页数:16 大小:3.44MB 积分:12 举报 版权申诉 已阅读5页,还剩11页未读, 继续免费阅读 版权说明:本文档由用户提供并上传,收益归属内容提供方,若...
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洁净室及相关受控环境 第15部分: 按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性 Cleanrooms and Related Controlled Environments Part 15: Suitability of Equipment and Materials Based on Gaseous Chemical Concentrations GBT25915.15-2022, GB25915.15-2022 预览GB/T 25915.15-2022前三页 ...
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按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级(含ISO 14644-8-2013) GB/T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境第9部分∶按粒子浓度划分表面洁净度等级 GB∕T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB/T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级 GB...
1 概述 洁净室通风与空气调节系统中有关化学污染控制的部分包括: 新风系统、循环风系统、微环境控制 系统和带净化装置的前端开启式晶嗣传送盒[FOUP(Front Opening Unified Pod) J 以及移动式深层过 滤器系统等。 新风系统的控制,要求去除户外空气中化学污染物,重点是低浓度的 S02 、NO,. ,N凡、03 及VOCs 等...