洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁doi:GB/T 25915.13-2022全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会史苏娟张秀春孙玉澄童广才李金平刘俊杰郝胤博左中杰石小雷冯昕高正胡茂从陈思源周斌黄吉辉韩辉余小彪邵森刘璐畅金学温晓辉
ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.13 2022ISO14644-132017 洁净室及相关受控环境 : 第 部分 达到粒子和化学洁净度 13 要求的表面清洁 — : Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Part13Cleanin of g surfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofarticleand p ...
筑灵网,为工程专业技术人员提供专业周到服务平台。是专业技术人员工作的必备网站平台,GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁
中国标准分类号:C70 国际标准分类号: 13 环保、保健和安全 13.040 空气质量 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境 归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会 执行单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会 主管部门:国家标准化管理委员会 扩展阅读:本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-13:2017。
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本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法,以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO14644.9 和ISO14644.10 给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南: ———表面目标洁净度等级; ———清洁方法的适用性; ———表面与清洁技术...
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GB/T 25915.13-2022 《洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》是即将实施的相关标准和检测方法,欢迎在线阅读洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁。
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26检测与监测 3附录A(资料性)洁净室建设材料选用 5附录B(资料性)电子工业洁净室空气化学污染控制系统 7附录C(资料性)微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表 9附录D(资料性)洁净室施工阶段化学物浓度控制措施 参考文献 Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定...