洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications GBT25915.13-2022, GB25915.13-2022 ...
ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.13 2022ISO14644-132017 洁净室及相关受控环境 : 第 部分 达到粒子和化学洁净度 13 要求的表面清洁 — : Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Part13Cleanin of g surfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofarticleand p ...
洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁doi:GB/T 25915.13-2022全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会史苏娟张秀春孙玉澄童广才李金平刘俊杰郝胤博左中杰石小雷冯昕高正胡茂从陈思源周斌黄吉辉韩辉余小彪邵森刘璐畅金学温晓辉
中国标准分类号:C70 国际标准分类号: 13 环保、保健和安全 13.040 空气质量 13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境 归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会 执行单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会 主管部门:国家标准化管理委员会 扩展阅读:本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-13:2017。
洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁 标准编号:GB/T 25915.13-2022标准状态:现行 标准价格:54.0元客户评分: 立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务! 如何购买?问客服 标准简介 本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外...
本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法,以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南:--表面目标洁净度等级;--清洁方法的适用性;--表面与清洁技术的相容性;--清洁...
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26检测与监测 3附录A(资料性)洁净室建设材料选用 5附录B(资料性)电子工业洁净室空气化学污染控制系统 7附录C(资料性)微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表 9附录D(资料性)洁净室施工阶段化学物浓度控制措施 参考文献 Ⅲ本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定...
——第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁; ——第14部分:按粒子浓度评估设备适用性; ——第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性; ——第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效。 本文件代替GB/T25915,3-2010《洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法》,与GB/T25915,3—2010相比,除结构调...
1 概述 洁净室通风与空气调节系统中有关化学污染控制的部分包括: 新风系统、循环风系统、微环境控制 系统和带净化装置的前端开启式晶嗣传送盒[FOUP(Front Opening Unified Pod) J 以及移动式深层过 滤器系统等。 新风系统的控制,要求去除户外空气中化学污染物,重点是低浓度的 S02 、NO,. ,N凡、03 及VOCs 等...