极紫外线是指波长在10~121纳米(nm)范围内的电磁辐射,它位于真空紫外与软X射线之间。这一波段的电磁波能量较高,能够电离几乎所有的组成普通物质的原子和分子,因此无法在普通物质(包括空气)中传播,只能在真空中传播。极紫外线的这一特性使得它在科学研究和工业应用中具有独特的优势,在电磁波谱的浩瀚领域中,极紫外线...
在半导体制造的精密舞台上，光刻机无疑是那颗璀璨的明星，而极紫外线（EUV）则是其心脏部位跳动的强劲动力。本文将带您深入探索EUV的生成奥秘，以及为何在光刻技术中如此不可或缺。极紫外线的独特优势 1. 超高分辨率 EUV光的波长极短，约为13.5纳米，这一特性使得它能够在光刻过程中实现前所未有的高分辨率。随...
极紫外线是指波长在10~121纳米(nm)范围内的电磁辐射,它位于真空紫外与软X射线之间。这一波段的电磁波能量较高,能够电离几乎所有的组成普通物质的原子和分子,因此无法在普通物质(包括空气)中传播,只能在真空中传播。极紫外线的这一特性使得它在科学研究和工业应用中具有独特的优势,在电磁波谱的浩瀚领域中,极紫外线...
极紫外线广泛应用于芯片制造行业,如图甲所示,用波长λ=110nm的极紫外线照射光电管,恰好能发生光电效应。已知普朗克常量h=6.6×10-34J•s,1nm=10-9m,1eV=1.6×10-19J,c=3×108m/s。(1)求阴极K材料的逸出功W0;(2)图乙是氢原子的能级图,若大量处于n=4激发态的氢原子发出的光照射阴极K,灵敏电流计...
深紫外线和极紫外线是生产芯片时常用在硅晶片上雕刻的光,深紫外线的波长为193nm,极紫外线的波长为13.5nm.下列说法正确的是() A.极紫外线的频率小于深紫外线的频率 B.极紫外线比深紫外线更容易发生衍射 C.极紫外线的光子能量大于深紫外线的光子能量 D.在真空中极紫外线的传播速度小于深紫外线的传播速度 相...
一、极紫外线光刻机的工作原理极紫外线光刻机利用极紫外线（EUV）光源照射涂有光刻胶的硅片，通过精确控制光线的投影和聚焦，将电路图案精确地转移到硅片上。这一过程中，EUV光源的波长极短，仅为13.5纳米，使得光刻精度达到了前所未有的高度。极紫外线光刻机的核心技术包括光源技术、光学系统、精密机械和控制系统...
极紫外线光刻机的工作原理是通过极紫外光线进行光刻。极紫外光线是一种短波长光线,能够穿透光学材料,如石英、玻璃等,因此需要特殊的光学系统来处理。在曝光过程中,掩模和光刻胶之间的极紫外光线会产生干涉效应,将图案映射到光刻胶上,从而形成电路图样。 三、产品优势 极紫外线光刻机有以下几个优势: 1. 高分辨...
【摘要】极紫外线和紫外线是两种不同波长的电磁辐射,具有不同的性质和对人体的影响。本文将简要介绍这两种辐射的特点及其对人体的影响。 一、极紫外线和紫外线的定义和特点 极紫外线波长在10~124纳米之间,是一种高能的电磁波辐射;而紫外线波长在100~400纳米之间,也是一种电磁...
深紫外线和极紫外线是生产芯片时常用在硅晶片上雕刻的光,深紫外线的波长为193nm,极紫外线的波长为13.5nm。下列说法正确的是( )A. 极紫外线的频率小于深紫外线的
极紫外线光刻机的原理和可见光刻机类似,只是用的是不同波长的光,其根本原理是通过光学透镜将图形逐层投射到硅片上。具体来说,极紫外线光刻机通过将硅片涂覆上一层感光剂,然后使用紫外线激光将光线聚焦在硅片上,从而形成所需的芯片电路图形。 在极紫外线光刻机中,光源是一个原子的微米级别X射线闪电器。它经过...