近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统,基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计,搭建三自由度位移测量系统,设计并优化外差信号相位检测算法,最终实现了亚纳米的测量分辨率和重复定位精度
然而,目前在参考光栅曝光拼接领域,尚无在平面两个正交方向上全局对准的方法。 针对上述问题,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出了基于参考光栅全局对准的干涉光刻拼接曝光方法与系统,为衍射光栅制造中的口径扩展提供了思考和借鉴。 研究中搭建的拼接曝光加工系统,如图1(a)所示,曝光区域使用双光束干涉产生,如图1(b)...
然而,目前在参考光栅曝光拼接领域,尚无在平面两个正交方向上全局对准的方法。 针对上述问题,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出了基于参考光栅全局对准的干涉光刻拼接曝光方法与系统,为衍射光栅制造中的口径扩展提供了思考和借鉴。 研究中搭建的拼接曝光加工系统,如图1(a)所示,曝光区域使用双光束干涉产生,如图1(b)...
SIGS科研 | 李星辉团队合作在超精密光栅干涉测量领域取得新进展 近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光...
清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出了基于参考光栅全局对准的干涉光刻拼接曝光方法与系统,为衍射光栅制造中的口径扩展提供了思考和借鉴。相关研究成果以“激光干涉光刻阵列全局对准参考策略”(Global Alignment Reference Strategy for Laser InterferenceLithography Pattern Arrays)为题,于3月4日发表于《微系统与纳米工程...
李星辉团队合作在超精密光栅干涉测量领域取得新进展 近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统,基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计,搭建三自由度位移测量系统,设计并优化外...
在上述研究基础上,李星辉/王晓浩团队深入研究,探索光谱共焦技术在光谱反射率及薄膜厚度测量中的潜在应用。利用环形窄带光阑限制入射角度,聚焦光线斜入射到待测表面,根据色散物镜关于光轴的对称性实现微小光斑的镜面反射,结合前期研究中提出的共...
大面积阵列式纳米结构在光场调控、分子筛选组装、材料沉积等方面具有重要的作用,但是目前的制备技术,尚无法同时满足高通量、结构一致、特征尺寸可调等核心目标。深入探究影响结构一致性的关键因素、确定结构通量和特征尺寸调谐的机制,是该领域的重大需求。 近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出空间双干涉同步的全息...
【我院程雪岷、郝群团队和李星辉团队在2023年日内瓦国际发明展斩获佳绩】近日,2023年第48届日内瓦国际发明展(International Exhibition of Inventions of Geneva)评审结果公布。清华大学参赛团队共计获得40项奖励,金奖获奖总数创历史新高。清华大学深圳国际研究生院程雪岷副研究员、郝群兼职教授团队参展项目获得日内瓦国际发明...
近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统,基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计,搭建三自由度位移测量系统,设计并优化外差信号相位检测算法,最终实现了亚纳米的测量分辨率和...