近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光系统,基于二维反射型光栅和采用创新的共光路设计,搭建三自由度位移测量系统,设计并优化外差信号相位检测算法,最终实现了亚纳米的测量分辨率和...
近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉副教授团队以“只需要看一次”(You Only Look Once,YOLO)系列目标检测算法为例,提出了基于领域自适应的可嵌入模块,可以有效克服不同域之间的域偏移(domain shift)问题,高效利用不同来源的数据支持目标域任务训练,极大程度缓解了深度学习模型对数据集规模的高要求,有效降低了搜集目...
SIGS科研 | 李星辉团队合作在超精密光栅干涉测量领域取得新进展 近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队与国防科技大学团队合作提出了一种基于反射型二维光栅的外差式三自由光栅干涉仪。团队自主设计具有高光敏度、高频差和高信噪比的双频激光...
清华大学深圳国际研究生院程雪岷副研究员、郝群兼职教授团队参展项目获得日内瓦国际发明展金奖,李星辉副教授团队参展项目获得日内瓦国际发明展银奖。 第48届日内瓦国际发明展金奖 “面向强散射场景的计算成像视觉监控系统” 发明机械概念图与实物图 程雪岷、郝群团队参展项目名称为“面向强散射场景的计算成像视觉监控系统”,项...
清华大学深圳国际研究生院李星辉研究员团队研究提出了一种偏振全息光刻系统,用于制作具有周期可调谐性的高均匀性微尺度二维交叉光栅结构。该研究成果以“Polarized holographic lithography system for high-uniformity microscale patterning with periodic tunability(点击标题阅读全文)”为题发表在期刊Microsystems & ...
近日,基于对光栅衍射及其在超高精度干涉测距与成像应用的深入研究,我院李星辉副教授、王晓浩研究员团队应邀撰文综述高端光刻机光栅定位与套刻测量技术发展。 电子信息产业是社会支柱之一,大规模集成电路是电子信息产业的基础,高端集成电路的...
【我院程雪岷、郝群团队和李星辉团队在2023年日内瓦国际发明展斩获佳绩】近日,2023年第48届日内瓦国际发明展(International Exhibition of Inventions of Geneva)评审结果公布。清华大学参赛团队共计获得40项奖励,金奖获奖总数创历史新高。清华大学深圳国际研究生院程雪岷副研究员、郝群兼职教授团队参展项目获得日内瓦国际发明...
大面积阵列式纳米结构在光场调控、分子筛选组装、材料沉积等方面具有重要的作用,但是目前的制备技术,尚无法同时满足高通量、结构一致、特征尺寸可调等核心目标。深入探究影响结构一致性的关键因素、确定结构通量和特征尺寸调谐的机制,是该领域的重大需求。 近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出空间双干涉同步的全息...
大面积阵列式纳米结构在光场调控、分子筛选组装、材料沉积等方面具有重要的作用,但是目前的制备技术,尚无法同时满足高通量、结构一致、特征尺寸可调等核心目标。深入探究影响结构一致性的关键因素、确定结构通量和特征尺寸调谐的机制,是该领域的重大需求。 近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出空间双干涉同步的全息...
近日,清华大学深圳国际研究生院李星辉团队提出空间双干涉同步的全息光刻方法,从理论和实验两方面验证了利用正交双轴洛埃镜干涉仪制作高通量、结构一致、特征尺寸可调纳米结构的可行性。该干涉仪单元由两个反射镜和一个光栅基底以正交角锥结构布局组成,能将单光束按波前分割方案分成三个子光束,实现高效稳定的二维交叉干涉...