英格尔已掌握晶圆表面污染检测技术,针对金属的光刻、刻蚀、沉积及清洁等方面所使用的试剂进行检测。 英格尔认为,在制造过程中所使用的机台也是关键控制点,以及在离子注入反应器烘箱时所应对的晶圆处理方法。通过常见污染在工艺...查看全文 英格尔检 提到公司英格尔检测技术服务(上海)有限公司 法定代表人:杨秀霞 | 注册资...
刻蚀石英环在半导体领域的应用: 1.晶圆刻蚀工艺:在半导体芯片制造的刻蚀环节中,刻蚀石英环发挥着关键作用。刻蚀是将晶圆上未被光刻胶覆盖的部分通过化学或物理方法去除,从而在晶圆上形成电路图案的过程。刻蚀石英环紧密围绕在晶圆周围,防止刻蚀过程中 - 徐曼与石英玻璃