扫描电镜(SEM)是利用电子束扫描样品表面,产生二次电子等信号,通过检测这些信号来获取样品表面形貌、成分等信息。 SEM的优点是分辨率高,可观察到纳米级别的细节,景深大,能清晰呈现三维形貌,可同时进行成分分析。 1. SEM技术简介 从本质上讲,SEM "观察"样品表面的方式可以比作一个人独自在暗室中使用手电筒(窄光束)扫...
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扫描电镜的全称是扫描电子显微镜,它可以用来观察被检测物体的细微之处、成像,这一点和显微镜有相似之处。扫描电镜是通过电子束扫描被检测物品的表面进而产生被检测物品表面的图像。首先扫描电镜有一个电子发射枪,从枪中会发射出加速、聚焦过的电子,在用这些电子来撞击样品。样品在受到撞击后会产生如同水波一般的信号...
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电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。 扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上...
扫描电镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种利用电子束扫描样品表面来产生图像的显微镜。它通过聚焦高能电子束在样品表面进行扫描,并利用各种信号检测器收集样品的特征信息,如二次电子、背散射电子、X射线等,从而获得样品的形貌、组成和结构信息。
扫描电镜(ScanningElectronMicroscope,SEM)是一种广泛应用于材料科学、生物学等领域的高分辨率显微镜。与光学显微镜不同,扫描电镜使用高能电子束代替光线来进行样品成像。扫描电镜工作原理是:将样品表面喷上一层导电性很强的金属涂层,如铂或金,然后在样品表面扫描出一个细致的电子束。这个电子束会与样品表面相互作用...
1 扫描电镜的原理 扫描电镜是扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscope, SEM)简称。它是一种电子显微镜,使用聚焦的电子束扫描样品的表面来产生样品表面的图像。 扫描电镜用聚焦的电子束在样品表面上进行光栅扫描(每行从左往右扫描,然后下行重复,周而复始直至完成一帧图像),收集电子与样品作用产生的信号在显示器上做...
一、扫描电镜原理 自从1965年第一台商品扫描电镜问世以来,经过40多年的不断改进,扫描电镜的分辨率从第一台的25nm提高到现在的0.01nm,而且大多数扫描电镜都能与X射线波谱仪、X射线能谱仪等组合,成为一种对表面微观世界能够经行全面分析的多功能电子显微仪器。