弹性散射是碰撞体系中电子能量和动量守恒的散射,是入射电子与试样中原子相互作用后只改变轨迹而能量基本不变的散射过程。轨道改变的角度从0°到180°之间变化,平均改变角度约为0.1弧度。非弹性散射是碰撞体系中电子能量或动量不守恒的散射,是入射电子与试样原子发生相互作用后发生能量损失的散射,其中电子动量的损失以多种...
1.4 电源电路系统 电源系统由稳压，稳流及相应的安全保护电路所组成，其作用是提供扫描电镜各部分所需的电源。图3为扫描电镜工作原理示意图，具体如下：由电子枪发出的电子束在加速电压（通常200V～30kV）的作用下，经过两三个电磁透镜组成的电子光学系统，电子束被聚成纳米尺度的束斑聚焦到试样表面。与显示器扫描...
扫描电镜是通过用电子束在样品表面上进行光栅状扫描的方法，通过探测电子与样品相互作用产生的信号来观察和分析样品表面的组成、形态和结构。主要通过二次电子、背散射电子和特征X射线等信号来分析样品表面的特性。二次电子： 用于观察样品表面形貌，对表面状态非常敏感。背散射电子： 通过样品中的电子散射观察样品表面形貌...
弹性散射是碰撞体系中电子能量和动量守恒的散射,是入射电子与试样中原子相互作用后只改变轨迹而能量基本不变的散射过程。轨道改变的角度从0°到180°之间变化,平均改变角度约为0.1弧度。非弹性散射是碰撞体系中电子能量或动量不守恒的散射,是入射电子与试样原子发生相互作用后发生能量损失的散射,其中电子动量的损失以多...
引起各种信号产额扫描电镜像衬度的来源有三个方面:① 试样本身性质(表面凹凸不平、成分差异、取向差异、表面电位差别等);② 信号本身性质(二次电子、背散射电子);③对信号的人工处理。 §1. 形貌衬度 样品所谓的形貌衬度,其实就是不同位置的倾斜角度的差异。
需要真空的原因包括:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定...
在2-30KV的加速电压下,经过2-3个电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚成孔径角较小,束斑为5-10m m的电子束,并在试样表面聚焦。末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下,电子束在试样表面扫描。高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子,背反射电子,X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收,经放大后...
弹性散射是冲击系统中电子能量和动量守恒的透射,是原子在入射电子和样品之间相互作用后,只改变轨迹,能量基本不变的透射过程。从0的角度改变轨道°到180°平均变化角度约为0.1弧度,间变化。 非弹性散射是冲击系统中电子能量或动量不守恒的透射,是入射电子与样品原子相互作用后能量损失的透射,其中电子动量损失是由多种机...
由电子枪发射的能量为5～35keV的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二...
SEM的基本知识扫描电子显微镜的工作原理扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收..