本发明提供一种微纳光纤波导超导纳米线单光子探测器及制备方法;固定于V型槽的微纳光纤可以和波导实现高精度的光耦合对准,并使微纳光纤由粗变细的过渡段悬空,防止光向衬底的泄露,进而减少光传输过程的损耗;波导型超导纳米线结构可以在片上实现对光的完全吸收;弯角波导设计可使微纳光纤波导的光耦合区域和波导型超导...
本发明提供一种微纳光纤波导超导纳米线单光子探测器及制备方法;固定于V型槽的微纳光纤可以和波导实现高精度的光耦合对准,并使微纳光纤由粗变细的过渡段悬空,防止光向衬底的泄露,进而减少光传输过程的损耗;波导型超导纳米线结构可以在片上实现对光的完全吸收;弯角波导设计可使微纳光纤波导的光耦合区域和波导型超导...