•双频容性耦合等离子体 1 容性耦合和感性耦合等离子体放电 CCP：放电空间相对于电源为电容区域，依靠两端形成的电场供电 ICP：放电空间相对于电源处在电感内，依靠激发磁场感应出的环形电场供电 2 研究双频容性耦合等离子体的意义 在传统的单频容性耦合等离子体中，如果想要提高等离子体密度，就需要提高施加的...
1、双频容性耦合等离子体双频容性耦合等离子体1容性耦合和感性耦合等离子体放电CCP:放电空间相对于电源为电容区域,依靠两端形成的电场供电ICP:放电空间相对于电源处在电感内,依靠激发磁场感应出的环形电场供电2研究双频容性耦合等离子体的意义在传统的单频容性耦合等离子体中,如果想要提高等离子体密度,就需要提高施加的偏...
•双频容性耦合等离子体 1 容性耦合和感性耦合等离子体放电 CCP：放电空间相对于电源为电容区域，依靠两端形成的电场供电 ICP：放电空间相对于电源处在电感内，依靠激发磁场感应出的环形电场供电 2 研究双频容性耦合等离子体的意义 在传统的单频容性耦合等离子体中，如果想要提高等离子体密度，就需要提高施加的...
双频容性耦合等离子体 * 容性耦合和感性耦合等离子体放电 CCP:放电空间相对于电源为电容区域,依靠两端形成的电场供电 ICP:放电空间相对于电源处在电感内,依靠激发磁场感应出的环形电场供电 * 研究双频容性耦合等离子体的意义 在传统的单频容性耦合等离子体中,如果想要提高等离子体密度,就需要提高施加的偏压,这样会导致...
双频容性耦合等离子体 * 容性耦合和感性耦合等离子体放电 CCP:放电空间相对于电源为电容区域,依靠两端形成的电场供电 ICP:放电空间相对于电源处在电感内,依靠激发磁场感应出的环形电场供电 * 研究双频容性耦合等离子体的意义 在传统的单频容性耦合等离子体中,如果想要提高等离子体密度,就需要提高施加的偏压,这样会导致...
•双频容性耦合等离子体 1 容性耦合和感性耦合等离子体放电 CCP：放电空间相对于电源为电容区域，依靠两端形成的电场供电 ICP：放电空间相对于电源处在电感内，依靠激发磁场感应出的环形电场供电 2 研究双频容性耦合等离子体的意义 在传统的单频容性耦合等离子体中，如果想要提高等离子体密度，就需要提高施加的...
容性耦合等离子体源 射频容性耦合等离子体(Radio-requency Capacitive Coupled Plasma,RF-CCP)源的基本放电结构如图1.1所示,将射频电源施加在两个平行板电极上,组成类似电容结构的放电装置。两个电极之间的放电区的结构为:鞘层/等离子体/鞘层,类似于三明治结构。CCP源的可控参数通常有放电功率、工作气压、平行板电极面积...