大气压辉光放电均匀性低温等离子体大气压辉光放电由于均匀性好,能量效率高并且不需要真空系统,正日益受到人们重视和研究.文章综述了大气压辉光放电的研究进展,包括实验条件,放电特征,放电机理以及最新的诊断方法,还介绍它在薄膜沉积,材料表面改性,污染物质的消毒去污等方面的应用前景.doi:10.3321/j.issn:0379-4148.2004.06...
摘要: 大气压辉光放电由于均匀性好,能量效率高并且不需要真空系统,正日益受到人们重视和研究.文章综述了大气压辉光放电的研究进展,包括实验条件,放电特征,放电机理以及最新的诊断方法,还介绍它在薄膜沉积,材料表面改性,污染物质的消毒去污等方面的应用前景.关键词:...