Schwab等则是通过首先将两裸露金属铜电极接触,当外加电压增加到某一数值后再逐渐将两电极分开,从而获得大气压射频辉光放电等离子体。然而在给定的电极间距、开放的大气环境条件下直接获得空气的射频辉光放电一直是一件较为困难的事情。大多数的研究者是以氦气或氩气为主工作气体,可适当加入O2、N2、CF4等气体,产生大...
Schwab等则是通过首先将两裸露金属铜电极接触,当外加电压增加到某一数值后再逐渐将两电极分开,从而获得大气压射频辉光放电等离子体。然而在给定的电极间距、开放的大气环境条件下直接获得空气的射频辉光放电一直是一件较为困难的事情。大多数的研究者是以氦气或氩气为主工作气体,可适当加入O2、N2、CF4等气体,产生大...
大气压射频辉光放电中放电稳定性研究 大气压射频辉光放电中放电稳定性研究 摘要 大气压辉光放电是一种热力学非平衡放电,其产生的等离子体温度低,并 且在大气压下即可实现,因此在未来工业生产中具有广泛的应用前景。大气压射 频辉光放电是当前实现大气压辉光放电的主要形式之一,具有气体击穿电压低和 产生的等离子体密度...
因此,大气压射频辉光放电比介质阻挡放电产生的等离子体密度更高,且所需的击穿和维持电压更低。但是射频辉光放电的功耗和产生的等离子体气体温度较高,这限制了其应用领域。脉冲调制射频放电可以有效地降低射频辉光放电中的气体温度和功耗[5],也有助于提高射频放电的稳定性[6]。在整个脉冲调制射频放电过程中,每一个...
在众多等离子体源中,采用裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电(Radio Frequency Atmospheric Pressure Glow Discharge,RF APGD)等离子体源可以使用氦气,氩气等惰性气体为工作气体产生放电电压低,安全性高,均匀性和稳定性好的等离子体.因此,RF APGD将在等离子体先进材料加工,生化清洗,消毒灭菌,微生物诱变... 查看全部>...
《大气压射频辉光放电等离子体约束射流特性的研究》是依托清华大学，由李和平担任项目负责人的面上项目。项目摘要 大气压下采用裸露金属电极结构等离子体发生器所产生的射频辉光放电等离子体（RF APGD）射流在等离子体材料处理领域有着广阔的应用前景。在开放空间下环境空气以及载物基板对等离子体射流特性的影响将直接关系到...