“大尺寸高品质MPCVD金刚石单晶生长、应用及其装备技术”项目荣获2023年度国家技术发明奖二等奖,主要完成人为:朱嘉琦(哈尔滨工业大学)、代兵(哈尔滨工业大学)、赵继文(哈尔滨工业大学)、刘康(哈尔滨工业大学)、郭怀新(中国电子科技集团公司第五十五研究所)、刘本建(哈尔滨工业大学)。 2023年度国家技术发明奖 二等奖 “...
“大尺寸高品质MPCVD金刚石单晶生长、应用及其装备技术”项目面向国家重大战略需求,创建了偏压辅助形核及生长理论,研制了大功率MPCVD装备,发明了低热阻连接及能带调控方法,实现生长-加工-装备-应用全链条突破,建立了自主知识产权体系,促进了合成金刚石产业链升级,推动了宽禁带半导体技术进步。项目经多家企业生产应用,创造...
“大尺寸高品质MPCVD金刚石单晶生长、应用及其装备技术”项目面向国家重大战略需求,创建了偏压辅助形核及生长理论,研制了大功率MPCVD装备,发明了低热阻连接及能带调控方法,实现生长-加工-装备-应用全链条突破,建立了自主知识产权体系,促进了合成金刚石产业链升级,推动了宽禁带半导体技术进步。项目经多家企业生产应用,创造...