顾名思义,即在某物体的上面整齐排列。外延工艺就是在单晶衬底上沉积一层薄的单晶层。这层新沉积的单晶层被称作外延层。 外延工艺主要有两种类型:同质外延和异质外延。同质外延是指在相同类型的基片上生长出相同的材料,这种外延生长的外延层和基片有着完全相同的晶格结构。异质外延则是...
外延工艺就是在单晶衬底上沉积一层薄的单晶层。这层新沉积的单晶层被称作外延层。 外延工艺主要有两种类型:同质外延和异质外延。同质外延是指在相同类型的基片上生长出相同的材料,这种外延生长的外延层和基片有着完全相同的晶格结构。异质外延则是在一种材料的基片上生长出另一种材料,这种情况下,外延生长的晶体层和...
分子束外延工艺介绍 分子束外延(Molecular beam epitaxy,MBE)是一种在超高真空状态下,进行材料外延技术,下图为分子束外延的核心组成,包括受热的衬底和释放到衬底上的多种元素的分子束。在这个过程中,晶体衬底被加热升温,各种分子束流被发射到衬底表面发生相互作用,最终在...
外延工艺是一种半导体制造工艺，主要是在硅片上生长一层或多层薄膜，以实现更复杂的电路功能。重要性 随着半导体技术的不断发展，外延工艺在提高芯片性能、降低功耗、增强稳定性等方面具有重要作用，是现代集成电路制造的核心技术之一。外延工艺的历史与发展 历史 自20世纪60年代以来，随着半导体技术的不断发展，外延工艺...
外延工艺 §1外延工艺 一.外延工艺概述 定义:外延(epitaxy)是在单晶衬底上生长 一层单晶膜的技术。新生单晶层按衬底晶相延伸生长，并称此为外延层。长了外延层的衬底称为外延片。2012-3-71 CVD:ChemicalVaporDeposition 晶体结构良好掺入的杂质浓度易控制可形成接近突变p—n结p—n 外延分类:外延分类气相外延(VPE)...
外延工艺在英文中通常被称为 "Epitaxy"。这个词源自希腊语的 "epi"(意为“上面”)和 "taxis"(意为“排列”)。顾名思义,即在某物体的上面整齐排列。外延工艺就是在单晶衬底上沉积一层薄的单晶层。这层新沉积的单晶层被称作外延层。 外延工艺主要有两种类型:同质外延和异质外延。同质外延是指在相同类型的基片...
第3章_7_外延工艺 3.7外延工艺 外延工艺属于化学气相淀积，化学气相淀积(CVD)是利用化学反应的方式在反应室内将反应物（通常为气体）生成固态的生成物，并沉积在晶片表面的一种薄膜沉积技术。CVD已成为半导体生产过程中最重要的薄膜沉积方式。在目前的超大规模集成电路生产过程中，部分金属材料还使用溅镀之外，所有其它...
外延工艺主要有两种类型:同质外延和异质外延。同质外延是指在相同类型的基片上生长出相同的材料,这种外延生长的外延层和基片有着完全相同的晶格结构。异质外延则是在一种材料的基片上生长出另一种材料,这种情况下,外延生长的晶体层和基片的晶格结构可能会有所不同。
外延工艺在英文中通常被称为 "Epitaxy"。这个词源自希腊语的 "epi"(意为“上面”)和 "taxis"(意为“排列”)。顾名思义,即在某物体的上面整齐排列。外延工艺就是在单晶衬底上沉积一层薄的单晶层。这层新沉积的单晶层被称作外延层。 外延工艺主要有两种类型:同质外延和异质外延。同质外延是指在相同类型的基片...