基体材料粗糙度对薄膜-基体结合能力的影响分析xxx1(1.昆明理工大学材料科学与工程学院,云南昆明650093)摘要:分析了多个不同基体材料粗糙度对薄膜—基体结合能力的影响的研究。主要利用磁控溅射法在不同粗糙度的基底上制备了薄膜。通过对其基体材料表面粗糙度和薄膜附着力的研究以及从理论上的研究,最终总结出结果:随着基底...