同步辐射光源-唐传祥:SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源,这是国际社会高度关注清华大学SSMB研究的重要原因(东方钽业、中广核技、腾景科技、必创科技、国光电气等)。 û收藏 转发 评论 ñ103 评论 o p 同时转发到我的微博 按热度 按时间 正在加载,请稍候... Ü ...
在2017年,唐传祥教授与赵午教授共同发起该项试验,旨在验证SSMB的原理。 02 实验装置 由于非相干辐射的强度与辐射源数量成正比,而相干辐射强度与辐射源数量的平方成正比,因此为了产生高功率的辐射,需要产生电子束相干辐射,这就要求粒子必须成束或者亚成束。SSMB就是通过操纵存储环中的粒子动力学,使电子束长度在微米或...
与能源研究中心(HZB)以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在顶尖期刊《自然》(Nature)上发表了题为“稳态微聚束原理的实验演示”(Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching)的研究论文,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(Steady-state microbunching,SSMB)的首个原理...
该成果基于SSMB(Steady-state microbunching,一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”)原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。 点评:大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。随着芯片工艺节点的不断缩小,预计对EUV光源功率的要求将...