高功率微波（High power microwave，HPM）作为一种重要的电磁武器，其对电子系统干扰与损伤日益受到关注。由于电子系统核心部件为半导体器件与集成电路，本项目重点研究典型半导体器件的HPM效应以及由HPM导致的其失效的机理具有重要意义。本项目通过典型深亚微米半导体器件的高功率微波效应测试实验、器件失效分析、器件高功率...