量测指对被观测的晶圆电路上的结构尺寸和材料特性做出的量化描述,如薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的量测。量测设备不直接参与对晶圆的光刻、刻蚀等工艺处理,但每个重要的工艺步骤后,量测设备会对晶圆进行检测,以验证并改善工艺的质量,并剔除不合格率过高的晶圆。 2.量测环节必要性 量测环节...