【半导体薄膜设备的分类】 1)薄膜沉积技术用于制造微电子器件上的薄膜,主要是通过物理或化学方法,将适当化学反应源激活,并将由此形成的离子原子等吸附聚集在衬底表面,从而在衬底之上形成一层薄薄的膜,比如二氧化硅薄膜,多晶硅薄膜,金属薄膜等。这些薄膜辅助构成了制作集成电路的功能材料层 2)薄膜沉积设备大致可以分为CVD...